Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-10-08

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半導體高低溫測試機

高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng) 溫變測試系統(tǒng) 制冷加熱循環(huán)器恒溫循環(huán)器半導體制冷裝置半導體制冷恒溫系統(tǒng) 半導體專用溫控裝置半導體晶圓溫度控制半導體溫控設備chiller 半導體溫控裝置半導體專用控溫設備半導體恒溫半導體恒溫系統(tǒng) 高低溫循環(huán)器高低溫一體機高低溫循環(huán)裝置高低溫一體循環(huán)機高低溫冷熱臺控溫設備半導體冷水機半導體溫控系統(tǒng) 半導體制冷冷水機半導體冷卻一體機半導體高低溫系統(tǒng) 半導體芯片測試冷水機半導體冷卻加熱恒溫一體機芯片半導體專用冷水機恒溫恒流恒壓冷水機晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)

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產(chǎn)品介紹

　　一、產(chǎn)品概述：

　　半導體Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

　　半導體chiller由制冷，加熱單元，循環(huán)，控制系統(tǒng)組成，全密封結(jié)構(gòu)對環(huán)境友好，產(chǎn)品系統(tǒng)多，控溫范圍廣，智能化控制軟件，加熱制冷速度快。

　　二、產(chǎn)品分為：

　　1.單通道系列

　　2.雙通道系列

　　3.三通道系統(tǒng)

　　三、半導體Chiller細節(jié)展示：

　　四、半導體chiller參數(shù)說明：

	名稱	參數(shù)	名稱	參數(shù)	名稱	參數(shù)
1	單通道系列	-20℃~+80℃	雙通道系列	-45℃~+40℃	三通道系列	-20℃~+50℃
2	溫度范圍	±0.1℃	溫度范圍	±0.2℃	溫度范圍	±0.1℃
3	精度	2kw@-10℃	精度	11kw@-20℃/5kw@-40℃	精度	15kw@-10℃
4	冷卻能力	3kw	冷卻能力	2kw	冷卻能力	2kw
5	加熱能力	20LPM@0.6MPa	加熱能力	17LPM@0.6MPa	加熱能力	30LPM@0.85MPa
6	流量	Rc3/4"	流量	Rc3/4"	流量	Rc3/4"
7	端口大小	15~20°C	端口大小	15~20°C	端口大小	15~20°C
8	溫度范圍	15LPM	溫度范圍	30LPM	溫度范圍	30LPM
9	所需流量	Rc1/2"	所需流量	Rc1/2"	所需流量	Rc3/4"*2
10	端口大小	0.3~0.7MPa	端口大小	0.3~0.7MPa	端口大小	0.3~0.7MPa
11	進口壓力	/	進口壓力	/	進口壓力	/